序号

项目名称

建设地点

建设单位

验收监测（调查）单位

项目概况

环境保护措施落实情况

公众参与情况

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年产60万片半导体晶圆技改项目

新北区长江北路19号

常州银河世纪微电子有限公司

常州苏测环境检测有限公司

形成年产6寸半导体晶圆60万片半的生产规模

常州银河世纪微电子有限公司在项目建设中执行了环境影响评价制度和环保设施“三同时”制度。

1、项目含氮磷镍等生产废水处理后回用；不含氮磷镍生产废水及生活污水接入城市污水管网进污水处理厂集中处理。循环冷却水和纯水制备浓水作清下水排放。

2、项目碱洗、酸洗、刻蚀、磷扩散产生的废气及经硅烷燃烧器处理后的化学气相沉积废气一并经酸喷淋、碱喷淋处理后通过25米高排气筒排放；光刻、涂硼源产生的废气经活性炭处理后通过20米高排气筒排放。

3、项目产生的危险废物(废负性光刻胶及显影液、废有机溶剂、废酸、废碱、废沉积液、废树脂、废活性炭纤维、废包装材料药剂瓶等、含有机溶剂抹布、含镍污泥等)委托有资质单位处置。

目前未收到反对意见